甲基铝(TMA)输送设备功能描述:应用行业:LED芯片制造,太阳能电池片制造;用途:MOCVD,PECVD所需液态金属化合物TMA集中输送设备。 保密提示:本案例涉及客户商业秘密,严禁以任何形式对外转载或引用。违者依法追责。