精密制造

面向高端制造产线与特气公辅场景,支撑高可靠连续生产。

液态源输送设备-三甲基铝(TMA)输送设备

甲基铝(TMA)输送设备

功能描述:

应用行业:LED芯片制造,太阳能电池片制造;

用途:MOCVD,PECVD所需液态金属化合物TMA集中输送设备。

 

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