功能描述：

应用行业：太阳能电池制造；

用途：用于背钝化工艺所需气液混合态TMA的输送，可精确控制TMA的流量及浓度；

产品说明：此设备是我司根据光伏行业最新的PERC工艺需求研发的可精确控制TMA输送流量及比例的蒸发工艺设备。本设备需外接集中供液系统，并且自带缓冲罐，缓冲罐可消除系统压力波动，保证TMA供应的稳定性，提高工艺质量。

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