项目： 科创CMOS12寸中试研发平台项目

地点 ： 浙江杭州

时间 ： 2021年

服务范围 ： 净化装修、给排水、电气、净化暖通、智能化、工艺特殊气体、工艺大宗气体、工艺纯水管路、工艺废水管路、工艺废气、工艺废气

主要特点 ： 主要产品：12英寸 CMOS 集成电路芯片

该项目对新建的LAB1和CUB进行施工，创建微纳超净实验室平台顺畅运行的空间；另新建室外管廊、连廊、材料库、新建甲类化学品仓库、气体用房及附属栋，包括洁净室相关机电安装、一般机电安装工程、纯废水、废气、气体化学品等厂务系统工程。主要洁净科研区、动力区建筑面积约30000平方米；系统设计与主系统能力满足科研平台工艺要求。

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