功能描述：

应用行业：太阳能电池制造；

用途：板式PECVD设备的配气模块，提供氮化硅薄膜工艺所需的混配特气；

产品说明：根据客户提出的特气配比需要，为客户提供工艺流程设计，材料选型，控制算法优化，设备制造等定制化服务。

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