项目： 广东工业大学半导体微纳加工研发及服务平台工程

地点 ： 广东广州

时间 ： 2024-2025年

服务范围 ：洁净室、特殊气体系统及二次配工程。

主要特点 ：预期将具备基于6英寸晶圆的硅工艺全流程制造能力，可制备各种自定义的半导体薄膜材料及器件、CMOS器件及电路等，满足集成电路领域微纳加工研发及服务平台需求。

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