项目:江苏集芯先进材料有限公司 6/8 英寸碳化硅衬底材料生产项目洁净机电(EPC)工程总承包
地点:江苏徐州
时间:2024年
服务范围 : 废气、废水、特气化学品及弱电、FMCS 等系统的采购及安装
主要特点 : 本项目为SiC晶片生产项目,产能约10万片/年,生产工艺包括:合成材料生产、晶粒加工、晶体生长和晶体加工等。建设范围包括园区内已有建筑研发厂房二(约25000㎡)洁净机电装修、新建2#动力站(约5300㎡)、新建1#动力站(约3600㎡)、新建1#甲类库(约740㎡)、新建2#甲类库(约150㎡)、新建氢气站(约425㎡)站以及生活生产所需的辅助配套设施,建筑面积约35215㎡,具体包含且不限于以下内容:洁净室及机电工程、防微振工程、CDA系统、真空系统、工艺排气系统、纯水系统、废水系统、工艺循环冷却水系统、自控FMCS系统、特殊气体系统、大宗气体系统、智能化弱电系统、化学品供液系统等。
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