电子半导体

服务晶圆厂、封测厂与上游配套企业,沉淀标准化交付经验。

浙江大学—浙江创芯集成电路有限公司

项目: 浙江大学杭州国际科创中心项目一期EPC工程总承包微纳超净实验室平台一期项目

地点 : 浙江杭州

时间 : 2021年

服务范围 : 气体系统、化学品系统、FMCS弱电系统

主要特点 : 主要产品:12英寸 CMOS 集成电路芯片

该项目对新建的LAB1和CUB进行施工,创建微纳超净实验室平台顺畅运行的空间;另新建室外管廊、连廊、材料库、新建甲类化学品仓库、气体用房及附属栋,包括洁净室相关机电安装、一般机电安装工程、纯废水、废气、气体化学品等厂务系统工程。主要洁净科研区、动力区建筑面积约30000平方米;系统设计与主系统能力满足科研平台工艺要求。

 

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